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Dieses Lehrbuch bietet die Inhalte zu den 13 Lernfeldern der theoretischen Ausbildung für Mikrotechnologinnen und Mikrotechnologen. Erstmals vollständig werden typische Arbeitsprozesse dargestellt. Der Schwerpunkt liegt auf den Themen der Prozesstechnologien der beiden Ausbildungsschwerpunkte Mikrosystemtechnik (MST) und Halbleitertechnik (HLT). Ausgehend von der Arbeitswelt der Mikrotechnologinnen und Mikrotechnologen (Kapitel 1) werden in den Kapiteln 2 bis 4 wesentliche Grundlagen zu Werkstoffen, Leitungsvorgängen und elektronischen Bauelementen betrachtet. Die Kapitel 5 bis 7 bieten relevante Grundlagen für Fertigung, Qualitätssicherung und Prüfverfahren. In den Kapiteln 8 bis 13 werden typische Prozesstechnologien vorgestellt und die Kapitel 14 bis 18 beleuchten Produktionsabläufe und Anwendungsfelder, die breit genutzt werden und teilweise Schnittstellen zu anderen Technologien darstellen.